Medimos la altura o la profundidad al enfocar el sistema en características que están a diferentes alturas. Por ejemplo, una línea o un punto en la parte superior e inferior de un paso, y luego simplemente construimos una medición de distancia entre estas características. Si va a usar el sistema de medición óptica para medir en el eje Z con frecuencia, le recomendamos usar un objetivo de aumento mayor con una profundidad de campo pequeña, de modo tal que pueda enfocarse con una mayor repetibilidad en las características medidas.